Teflon PFA CST
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8" PFA 13Slots Cassette產品尺寸：203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm
適用晶圓：8 inch (Ø200mm) 晶圓
槽 距：12.7mm -
6" PFA 25 slots Cassette( Low Profile)產品尺寸：177(L) x 140(W) x 115(H)mm
適用晶圓：6 inch (Ø150mm)晶圓
槽 距：4.76mm
容 量：25 PCS -
6" PFA 12 SLOTS CASSETTE產品尺寸：177(L) x 145(W) x 173(H)mm
適用晶圓：6 inch (Ø150mm) 晶圓
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6" PFA 25 slots Cassette產品尺寸：143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm
適用晶圓：6 inch (Ø150mm)晶圓
槽 距：4.76mm -
5" PFA 25 Slots Cassette產品尺寸：152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm
適用晶圓：5 inch (Ø125mm)
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4" PFA 25 Slots Cassette 鏤空版產品尺寸：142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm
適用晶圓：4 inch (Ø100mm)
厚度0.5mm~0.7mm晶圓
槽 ... -
4" PFA 25 Slots Cassette產品尺寸：142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm
適用晶圓：4 inch (Ø100mm)
厚度0.5mm~0.7mm晶圓
槽 ... -
3" PFA 25 Slots Cassette產品尺寸：142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm
適用晶圓：3 inch (Ø75mm) 晶圓
槽 距：4.76mm -
2" PFA 25 Slots Cassette2" 分有豆/無豆版