5" PFA 25 Slots Cassette

型號:PF-C125
● 產品名稱:5" Teflon Cassette / PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C125
● 產品尺寸:152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm
● 重  量:607.4g
● 容  量:25 PCS
● 適用晶圓:5 inch (Ø125mm)
      厚度0.5mm~0.7mm晶圓
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:4.76mm
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍卡匣
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。